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一种晶圆搬运用超材料构型气驱动软体机器人及控制方法

发布时间:2026-07-06
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申请专利人:
北京科技大学顺德创新学院, 北京科技大学, 杭州电子科技大学, 西南应用磁学研究所(中国电子科技集团公司第九研究所)
发明设计人:
曾新喜, 贾平凡, 杨一之,高艺璇, 罗将, 潘德胜, 郭云龙,孙朝阳,钱凌云
专利状态:
未授权
申请号:
CN202510924678.7
是否职务专利:
申请日期:
2025-07-04

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