一种晶圆搬运用超材料构型气驱动软体机器人及控制方法
发布时间:2026-07-06
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- 申请专利人:
- 北京科技大学顺德创新学院, 北京科技大学, 杭州电子科技大学, 西南应用磁学研究所(中国电子科技集团公司第九研究所)
- 发明设计人:
- 曾新喜, 贾平凡, 杨一之,高艺璇, 罗将, 潘德胜, 郭云龙,孙朝阳,钱凌云
- 专利状态:
- 未授权
- 申请号:
- CN202510924678.7
- 是否职务专利:
- 否
- 申请日期:
- 2025-07-04
