立方碳化硅单晶可控制备与MEMS器件研究
发布时间：2026-09-16
点击次数：
- 项目状态：
- 在研
- 项目级别：
- 省部级
- 立项时间：
- 2025-01-01
- 计划完成时间：
- 2029-12-31
- 资助额度(万元)：
- 70.0
访问量： 最后更新时间：--
版权所有©2026北京科技大学 京公网安备:110402430062 京ICP备:13030111号-1