4英寸SiC单晶液相生长中试技术与生长设备开发
发布时间：2026-09-16
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- 项目状态：
- 结题
- 项目分类：
- 北京市科技计划
- 项目级别：
- 省部级
- 结项日期：
- 2023-12-31
- 开始日期：
- 2021-09-01
- 资助额度(万元)：
- 60.0
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